超純水氮封閥裝置在漢洛環保應用

超純水氮封閥裝置在漢洛環保應用

超純水氮封水箱是將一定量的氮氣充入密封的水箱內，水箱內氮氣壓力不大于K，氮氣是惰性氣體能防止CO等其它物質溶入水中影響水質，保證水箱內的水不受二次污染而導致水質下降。  活性炭按材料可分為螺母殼活性炭、木活性炭和煤活性炭。活性炭產品廣泛應用于高純水設備,純凈水,因為一般的常用儲水罐為了維持內部與外部的壓力平衡，當罐內水量減少的時候，除非使罐子被不斷的壓縮，不然罐內就會有空氣填入其中，維持外部與內部的平衡，顯然在超純水的生產過程中，使空氣進入是非常不理智的行為。常見的大氣中富含各種污染物質，這類污染物質雖然對人體的影響并不是很大，但是在高精度儀器面前，它們會時刻影響實驗數據，讓數據出現不同程度的改變，特別是在電子級實驗面前，微生物或者離子的影響都會使實驗數據失效，所以采用氮封裝置能很好的保證儲水桶內的水質穩定。



空氣中含有二氧化碳、細菌、塵埃等雜質，而超純水為純的溶劑，對這些雜質的溶解能力很強，故一旦超純水與空氣接觸，就會使其電阻率迅速下降，實踐證明15MΩ·m以上的超純水暴露在空氣中1分鐘后水質就會下降至3-4MΩ·m，3分鐘以后就會下降到2MΩ·m左右，因此超純水的儲存容器需確保水體不與空氣的接觸。

氮封閥由供氮裝置供氮閥和泄氮裝置泄氮閥兩部分組成。供氮裝置由指揮器和主閥兩部分組成；泄氮裝置由內反饋的壓開型微壓調節閥組成。氮氣壓力一般設為100mmH2O.通過氮封裝置控制。

超純水氮封閥裝置在漢洛環保應用 產品特點

無需外加能源，能在無電、無氣的場合工作，既方便，又節約能源，降低成本；
氮封閥壓力設定方便，可在連續生產的條件下進行；
壓力檢測膜片有效面積大，設定彈簧剛度小，動作靈敏，裝置工作平穩；
采用無填料設計，閥桿所受摩擦力小，反應迅速，控制精度高；
供氮裝置采用指揮器操作，減壓比可達100:1,減壓效果好，控制精度高；
為確保儲罐的，需在罐頂設置呼吸閥；
呼吸閥僅起作用，避免了常規氮封裝置中啟閉頻繁易損壞的缺陷。

超純水設備氮封水箱的工作原理：


超純水設備的氮封水箱是將一定量的氮氣充入密封的水箱內，水箱內氮氣壓力不大于80Kpa，氮氣是惰性氣體能防止CO2等其它物質溶入水中影響水質，保證水箱內的水不受二次污染而導致水質下降。

氮封裝置由快速泄放閥及微壓調節閥兩大部分組成，而快速泄放閥由壓力控制器及單座切斷閥組成，當儲罐內壓力升高至設定壓力時，快速泄放閥迅速開啟，將罐內多余壓力泄放。微壓調節閥是在儲罐內壓力降低時，開啟閥門，向罐內充注氮氣。因微壓調節閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下，現場N2壓力較高，必須安裝壓力調節閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。




廣東漢洛環保科技有限公司系統主要采用預處理+反滲透+電去離子（EDI）+拋光混床超純水處理技術，前置預處理加反滲透處理，有效去除水中各種鹽份及雜質，然后運用CEDI及拋光混床系統，進一步提升水質，使出水達到用水工藝要求。電子行業的產品生產中需要用到的水是超純水，比如單/多晶硅、半導體晶片切割制造、半導體芯片、半導體封裝、引線柜架、集成電路、 液晶顯示器、導電玻璃、電池（蓄電池）、顯像管、線路板、光通信、電腦元件、電容器、潔凈產品及各種元器件等，電子行業生產工藝用純水基本是1-18Ω﹒cm范圍的水。

序號	品  名	型 號 及 規 格	單位	數量	單　價 （元）	金 額 （元）	閥體材質及其它
1	氮封閥	氮封閥ZZYVP-II DN25 PN16 進口壓力 0.3-0.8 MPA, 出口壓力1 KPA	臺	2			WCB
2	泄壓閥	泄壓閥ZXD-10   DN25    PN16 起跳壓力2KPA	臺	2			WCB
3	呼吸閥	呼吸閥ZFQ  DN50 PN10 正壓：3KPA 負壓：-298PA	臺	2			WCB

壓力可按要求分段設定，從0.5Kpa至60 Kpa以下。

微壓調節閥壓力調節范圍內選定一設定值 如：3Kpa。

泄氮設定值的設定應遠離供氮壓力值，如：8Kpa。

具體壓力的設定值要根據純水系統的產水量和水箱容量大小來確定選擇。

氮氣 (N2)的純度為99.999％以上。



超純水氮封閥裝置在漢洛環保應用主要技術參數

公稱通徑(mm)	20			25	40		50	80		100	150
閥座直徑(mm)	6	15	20	25	32	40	50	65	80	100	125	150
額定流量系數Kv	3.2	5	8	10	20	32	50	80	100	160	250	400
壓力調節范圍	0.5～70 20～120 60～400 300～700 500～1000 KPa
公稱壓力PN	1.0、1.6 MPa
被調介質溫度	80、200 ℃
流量特性	快開型
調節精度	≤5%
允許壓降(MPa)	1.6				1.6		1.1	0.6		0.4
薄膜有效面積(C㎡)	200				280			400
允許泄漏量	符合ANSIB16.104—1976 IV級
閥蓋形式	標準型 (整體式)
壓蓋型式	螺栓壓緊式
密封填料	V型聚四氟乙烯填料、含浸聚四氟乙烯石棉填料、石棉紡織填料、石墨填料
閥芯形式	單座型閥芯
流量特性	直線性

超純水氮封閥裝置在漢洛環保應用處理超純水與空氣接觸的方法：

充氮法：即在水箱水面上充入氮氣使箱內維持適當的正壓力，阻止大氣與箱內水面接觸。

薄膜袋法：即在在水箱內設置袋狀薄膜覆蓋于水面上，薄膜袋隨水位升降，減少水面與空氣接觸面積。    

浮頂法：即以密度比水輕的輕質材料在水箱內制成整塊板狀浮頂浮于水面，并用輕質彈性材料（如海綿、發泡塑料等）遮蓋浮頂與箱間的間隙，浮頂隨水面升降。從而減少空氣與水面的接觸機會。

在上述三種方法中又以氮封水箱常見，實施簡單，效果好。



1 超純水氮封閥裝置在漢洛環保應用工藝特點

在儲罐上設置氮封系統，維持罐內氣相空間壓力在2.5KPa左右，當氣相空間壓力高于2.5KPa時，氮封閥關閉，停止氮氣供應；當氣相空間壓力低于2.5KPa時，氮封閥開啟，開始補充氮氣，保證儲罐在正常運行過程中不吸進空氣，防止空氣中的塵埃、CO2等污染物進入DI水中形成二次污染。

1）在每臺儲罐上設置先導式氮封閥組和溢流水封箱，正常情況下使用氮封閥組維持罐內氣相空間壓力在2.5KPa左右，當氣相空間壓力高于2.5KPa時，氮封閥關閉，停止氮氣供應；當氣相空間壓力低于2.5KPa時，氮封閥開啟，開始補充氮氣。

2）當氮封閥需要檢修或故障時：

在負壓低于-0.85Kpa時，溢流管水封箱從防負壓口吸入空氣，防止負壓過高導致水箱吸扁；在壓力高于3KPa時，通過溢流管水封箱的溢出口外排多余的氮氣，防止水箱膨脹破裂，以防止事故擴大。

3）當DI水箱液位器需要檢修或故障時：

如DI水箱的液位器出現異常時，水箱滿水通過溢流管水封箱的溢出口外排多余的水，防止水箱膨脹破裂，以防止事故擴大。



2 超純水氮封閥裝置在漢洛環保應用安裝布置

1）氮封閥、調壓閥及壓力表的安裝位置宜安裝于標高1.0m左右，便于日常維護。氣體流量計的安裝位置宜安裝于標高1.5m左右，便于日常觀察。

2）罐頂氮氣接口的開口方位宜位于罐頂中心部位，氮氣管道在氮封閥之前采用SS304潔凈管，之后采用UPVC潔凈管。

3）溢流管水封箱就地安裝，其相應的底部溢出口接管盡可能的排至室外或通風的地方，防止室內氮氣濃度過高。



超純水氮封閥裝置在漢洛環保應用

氮封裝置由供氮裝置和泄氮裝置兩部分組成。供氮裝置由指揮器和主閥兩部分組成；泄氮裝置由內反饋的壓開型微壓調節閥組成。氮氣壓力一般設為100mmH2O，通過氮封裝置控制。當水箱上游水泵開啟，向超純水水箱補水時，水箱水位上升，氣相部分容積減小，壓力升高，當水箱上部氣體空間壓力升至高于泄氮裝置壓力設定值時，泄氮裝置打開，向外界釋放氮氣，使罐內壓力下降，當降至泄氮裝置壓力設定點時，泄氮裝置自動關閉。當水箱后級水泵開啟，用戶端開始用水時，液面下降，氣相部分容積增大，罐內壓力降低，供氮裝置開啟，向儲罐注入氮氣，使罐內壓力上升，當罐內壓力上升至供氮裝置自動關閉。